VCR是英文Vacuum Coupling Radius Seal(真空连接径向密封)前三个英文单词的缩写,它是美国Swagelok公司的金属面密封接头(Metal Gasket Face Seal Fitting)的注册商标。VCR接头最早用于宇航工业,目前在半导体光电制造行业普遍使用。可能是因为Swagelok公司的名气和影响力太大,VCR成了金属面密封接头的代名词(其实不同品牌的金属面密封接头的名称是不—样的。
1、工作原理
VCR接头是面密封接头(Face SealFitting)的一种,密封元件采用金属垫片。通过内、外螺纹互锁来压迫金属垫片,使垫片产生一定的变形,从而达到密封的效果。
还有一种比较典型的面密封接头是VCO接头,其工作原理同VCR一样,只不过密封元件为〇型圈(材质通常为氟橡胶或氟塑料),目前用得很少。
2、特点
VCR接头洁净度高(组件经过电抛光及清洗等工艺处理)、密封性好,特别适用于要求无泄漏的超高纯净系统、超高真空系统及高压系统。因为采用了金属密封元件,VCR接头的额定工作温度范围比较广(采用SUS316L垫片的VCR接头,温度额定值可达537C)。VCR接头便于安装,具有最小拆卸间隙,可以反复拆装(拆卸后重新安装需要更换新垫片)。
VCR接头的Gland同TUBE管之间需要焊接。VCR接头一般要与自动焊接头配合使用,在不需要拆卸的地方使用自动焊接头(Weld Fittings),在需要拆卸的地方(如阀门、设备接口处))使用VCR接头。因此很多厂家的样本上都是把VCR接头(金属面密封接头)和自动焊接头放在一起的(如图3),有些厂家还把这两种接头统称为Clean Fittings(洁净管件)。
3、材质
接管(Gland)、本体(Body)和螺母(Nut)的材质一般为SUS316或SUS316L。垫片(Gasket)的材质一般为SUS316L、镍或铜(铜垫片现在基本不使用),垫片有镀银和不电镀之分。
VCR内螺纹螺母(FemaleNut)的内螺纹经过镀银处理,以防止磨损。